 Warszawa, 5 czerwca 2017 Otwarcie nowego Międzyoddziałowego Laboratorium Procesów Technologii Nanostruktur i Przyrządów Półprzewodnikowych IF PAN W dniu 23 maja 2017 r. Dyrektor Instytutu Fizyki Polskiej Akademii Nauk, Prof. dr hab. Roman Puźniak, symbolicznym aktem przecięcia wstęgi dokonał oficjalnego otwarcia nowego, Międzyoddziałowego "Laboratorium Procesów Technologicznych Nanostruktur i Przyrządów Półprzewodnikowych" w Instytucie.
Uroczystość otwarcia poprzedzona została seminarium, na którym dr Tomasz Wojciechowski oraz Prof. dr hab. Tomasz Wojtowicz, przedstawili historię powstawania Laboratorium i jego obecne możliwości. Dr Wojciechowski odegrał kluczową rolę przy budowie tego Laboratorium, poczynając od momentu składania wniosków o finansowanie, poprzez przygotowywanie specyfikacji SIWZ aż po samo wytworzenie tej nowej infrastruktury badawczej.
Budowa głównych części składowych Laboratorium sfinansowana została z funduszy Ministerstwa Nauki i Szkolnictwa Wyższego w ramach realizacji dwóch inwestycji dotyczących wytworzenia aparatury naukowo-badawczej w kategorii dużej infrastruktury badawczej. Pierwszą z tych inwestycji była "Uniwersalna linia technologiczna do badań procesów wytwarzania nanostruktur i prototypów przyrządów półprzewodnikowych, nadprzewodnikowych i metalicznych", na którą fundusze przyznano decyzją Ministra Nauki i Szkolnictwa Wyższego z dnia 14 marca 2014 r. i której realizacja zakończona została w grudniu 2015 r. Drugą inwestycją była "Infrastruktura badawcza do procesów nanotechnologicznych struktur półprzewodnikowych, metalicznych i nadprzewodzących", przyznana decyzją Ministra z dnia 11 marca 2015 r. i której realizację zakończono w grudniu 2016 r.
W wyniku zrealizowania tych dwóch inwestycji stworzono w IFPAN nowoczesny kompleks czystych laboratoriów (w Hali A oraz bl. III IFPAN), które wyposażone zostały w wysokiej klasy, nowoczesną aparaturę technologiczną (m. in. w Uniwersalne urządzenie do epitaksji z wiązek molekularnych MBE, Komora UHV do napylania cienkich warstw oparta na dziale elektronowym z działem jonowym, Stanowisko do litografii optycznej, Urządzenie do osadzania próżniowego warstw o wysokiej stałej dielektrycznej ALD, Urządzenie plazmowe do trawienia związkami chloru ICP-RIE, Urządzenie plazmowe do trawienia związkami fluoru z funkcjonalnością osadzania związków krzemu PECVD).
Powstanie Laboratorium, z którego będą mogły korzystać pracownicy IFPAN oraz jednostek z nim współpracujących, stanowi istotny krok w rozwoju potencjału badawczego Instytutu. WIRTUALNY SPACER PO LABORATORIUM: Z infrastrukturą typu "clean room" oraz z dostępną w niej aparaturą technologiczną można zapoznać się podczas Wirtualnego Spaceru:
http://info.ifpan.edu.pl/vt/ zakładka: Laboratoria\Nanotechnologia:
• _MBE: II-VI (Uniwersalne urządzenie do epitaksji z wiązek molekularnych MBE - firmy Veeco)
• _Metalizacja1 (Komora UHV do napylania cienkich warstw oparta na dziale elektronowym z działem jonowym firmy Prevac)
• _Fotolitografia (Stanowisko do litografii optycznej - firmy Karl Suss i innych)
• _ALD, RIE, PECVD (Urządzenie do osadzania próżniowego warstw o wysokiej stałej dielektrycznej ALD , Urządzenie plazmowe do trawienia związkami chloru ICP-RIE, Urządzenie plazmowe do trawienia związkami fluoru z funkcjonalnością osadzania związków krzemu ICP-PECVD wszystkie z firmy Oxford Instruments) PREZENTACJA PRZEDSTWIONA NA SEMINARIUM KONTAKTY DO NAUKOWCÓW: prof. dr hab. Tomasz Wojtowicz Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk w Warszawie tel. tel. (+48) 22 116 3123 lub 22 116 2551 email: wojto@ifpan.edu.pl MATERIAŁY GRAFICZNE: IFPAN170605_fot01.jpg
 Moment zaraz po przecięciu wstęgi przez Dyrektora, Prof. dra hab. Romana Puźniaka, który stanowił symboliczny akt oficjalnego otwarcia nowego, Międzyoddziałowego "Laboratorium Procesów Technologicznych Nanostruktur i Przyrządów Półprzewodnikowych" w Instytucie Fizyki Polskiej Akademii Nauk.
IFPAN170605_fot02.jpg
 Dr Tomasz Wojciechowski oraz Prof. dr hab. Tomasz Wojtowicz przyjmują gratulacje od Dyrektora IFPAN, Prof. dra hab Romana Puźniaka, oraz od Prezesa Fundacji Badawczej MagTop, Prof. dra hab. Tomasz Dietla z okazji zakończonej sukcesem realizacji dwóch dużych inwestycji w zakresie dużej infrastruktury badawczej Ministerstwa Nauki i Szkolnictwa Wyższego, które doprowadziły do stworzenia nowego Laboratorium.
| 
