- Trzy reaktory ALD (ALD – metoda osadzania warstw atomowych)
- Dwa reaktory do wytwarzania nanoproszków i nanosłupków metodą hydrotermalną
- Układy do pomiarów fotoluminescencji i transmisji światła w zakresie UV-VIS-NIR
- Układ spektroskopii optycznie detekowanego rezonansu magnetycznego (ODMR)
- Układ spektrokopii DLTS i pomiarów charakterystyk transportowych warstw i struktur
- Spektrometr Wysokorozdzielczy XRD
- Spektrometr AFM
- Układ do pomiarów efektu Halla
- Układ do kontrolowanego wygrzewania (RTP)
- Układ do metalizacji
- Układ do pomiarów przewodnictwa AC
